Kính Hiển Vi Nguyên Tử Lực Hiệu Năng Cao

Thông số kỹ thuật

Máy quét
• Tùy chọn phạm vi quét XY 5um/ 10um / 40um / 100um với độ phân giải 24 bit
• Tùy chọn Phạm vi quét Z: 2um / 4um / 6um / 8um / 12um / 15um 24 bit
• Độ phân giải 0,01nm
• Quét tuyến tính trên tất cả các trục với cảm biến quang
• Giá đỡ mẫu chân không cho tấm wafer tối đa 8 "
• Máy quét Z tách rời
• Có thể giữ mẫu tối đa tới 500 gr. trục Z tự động
• Bàn di mẫu tự động phạm vi 50mm, độ phân giải 250nm XY
• Phạm vi 76 mm, Mô-đun AFM độ phân giải 50nm
• Laser 635nm điều chế nhiễu thấp
• Nhiễ sàn 25 fmCHz (tối đa)
• Độ phân giải từ <14nm với công nghệ cần rung siêu sắc nét
• Kính hiển vi video
• Vật kính x10, 0,28 NA, chỉnh tiêu cự tự động
• Độ phân giải quang 0,7um
• zoom quang điều chỉnh tự động x1-5
• Camera 8MP CMOS

• Phần mềm điều chỉnh nguồn ánh sáng trắng Cách ly âm thanh và rung
• Tủ cách ly âm thanh, nhiệt và rung
• Tủ cách ly kiểm soát khí quyển (tùy chọn)
• Bàn cách ly rung 0,3 Hz
• Gia nhiệt và làm lạnh trong khoảng từ -30 ° C đến +350 ° C

Nguyên lý hoạt động kính hiển vi nguyên tử lực

BROCHURE